请教MEMS气体流量传感器的原理？
186****2169
知识产权流量
提问时间:2022-04-09 14:38:39
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回答
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共1个
杨东明
从业11年
商标撤三申请商标无效宣告
所在地区:丽江市
咨询解答:31
产品原理
MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.
2022-04-09 16:25:40
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