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共1个
王宝珠
从业11年
专利申请专利代写实用新型专利申请
所在地区:南昌市
咨询解答:469
通俗的讲，光刻胶通过光照曝光留下微纳结构图形，刻蚀，沉积将此图形进一步画到硅基板上。
光刻胶以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。当紫外光或电子束的照射时，光刻胶材料本身的特性会发生改变，经过显影液显影后，曝光的负性光刻胶或未曝光的正性光刻胶将会留在衬底表面，这样就将设计的微纳结构转移到了光刻胶上，而后续的刻蚀、沉积等工艺，就可进一步将此图案转移到光刻胶下面的衬底上，最后再使用除胶剂将光刻胶除去就可以了。
2022-08-27 18:48:21
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